Bpure Series 立式/臥式管舟清洗機(jī)

Bpure Series Vertical/Horizo ntal Tube/Boat Cleaning System

Bpure系列立式/臥式管舟清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、封裝、光伏等領(lǐng)域。采用浸泡式處理工藝，主要用于12英寸及以下尺寸的擴(kuò)散、外延等設(shè)備的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材質(zhì)的零部件，如石英板、點(diǎn)火炮、保溫桶等。

設(shè)備特點(diǎn)

• 全自動(dòng)清洗，浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
• 一機(jī)多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
• 自主研發(fā)控制系統(tǒng)，友好的人機(jī)交互界面
• 自動(dòng)配液系統(tǒng)，換酸便捷
• 分級(jí)安全互鎖設(shè)置，確保設(shè)備安全可靠

產(chǎn)品應(yīng)用

• 晶圓尺寸

  8、12 英寸

• 適用材料

  石英、碳化硅

• 適用工藝

  石英管/ 舟、石英板、點(diǎn)火炮、基座等零部件浸泡式清洗

• 適用領(lǐng)域

  集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域