ACE i300

性能良好，多項(xiàng)關(guān)鍵工藝指標(biāo)達(dá)到領(lǐng)域先進(jìn)水平。ACE i300依托北方華創(chuàng)多年的刻蝕經(jīng)驗(yàn)積累，采用高密度、低損傷等離子源設(shè)計(jì)，同時(shí)配備北方華創(chuàng)成熟的遠(yuǎn)程ICP（電感耦合等離子體源）技術(shù)，達(dá)到高水平的去膠速率，并實(shí)現(xiàn)去膠損傷抑制；采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的流場分布，去膠均勻性表現(xiàn)良好；腔室壁配備獨(dú)立控溫系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)良好的顆?？刂扑?。

以市場為導(dǎo)向，為客戶創(chuàng)造更大價(jià)值。ACE i300可配置大氣、真空兩種傳輸平臺，滿足客戶不同工藝需求；同時(shí)，搭配雙腔(twin-chamber)設(shè)計(jì)，產(chǎn)能表現(xiàn)優(yōu)秀；機(jī)臺維護(hù)便捷，關(guān)鍵耗材使用壽命長，滿足客戶低成本運(yùn)維需求。

作為國產(chǎn)刻蝕設(shè)備的開拓者及引航者，北方華創(chuàng)將始終以科技創(chuàng)新為驅(qū)動，不斷開拓刻蝕領(lǐng)域全新應(yīng)用，助力更多客戶實(shí)現(xiàn)更大價(jià)值，推動產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能！

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